內容簡介
《多晶矽生産技術》主要講述瞭改良西門子法生産多晶矽的製備原理。內容包括多晶矽原料製備、原料提純、多晶矽製備、尾氣迴收、矽芯的製備等核心內容,同時對超純水的製備,氫氣、氯氣的製備和淨化作瞭詳細介紹。《多晶矽生産技術》緊密結閤生産實踐,注重瞭理論與實踐的有機結閤。
《多晶矽生産技術》可作為高職高專矽材料技術及光伏專業的教材,同時也可作為中專、技校和從事單晶矽生産的企業員工的培訓教材,還可供相關專業工程技術人員學習參考。
內頁插圖
目錄
第1章 概述
1.1 矽的簡介
1.2 矽材料工業概況
1.3 多晶矽的生産方法
小結
習題
第2章 純水的製備
2.1 水的概述
2.2 離子交換法簡介
2.3 去離子水(高純水)的製備工藝
2.4 離子交換法製備純水
2.5 純水製備係統主要設備及工作原理
2.6 純水製備係統運行控製
2.7 純水製備係統的清洗
2.8 高純水的測量
小結
注釋
習題
第3章 工業矽的生産
3.1 工業矽生産原理及影響因素
3.2 工業矽生産工藝
3.3 工業矽生産操作
3.4 工業矽生産設備
3.5 生産操作及安全控製
3.6 煙氣淨化利用
小結
習題
第4章 氫氣的製備和淨化
4.1 氫氣的簡介
4.2 氫氣的生産工藝
4.3 氫氣的淨化、儲存和運輸
4.4 氫氣的安全使用
小結
習題
第5章 液氯的汽化
5.1 氯氣的性質
5.2 液氯的汽化
5.3 氯的存放和安全使用
小結
習題
第6章 氯化氫的閤成
6.1 氯化氫的性質
6.2 氯化氫的閤成原理
6.3 氯化氫閤成工藝過程
6.4 主要設備及其作用
6.5 工藝條件選擇和操作要點
6.6 質量控製要點
6.7 安全控製
小結
習題
第7章 三氯氫矽的閤成
7.1 三氯氫矽製備原理
7.2 三氯氫矽閤成工藝流程
7.3 三氯氫矽閤成的主要設備
7.4 三氯氫矽閤成的工藝條件
7.5 生産現場操作要點
小結
習題
第8章 三氯氫矽的提純
8.1 三氯氫矽中雜質含量的分析
8.2 提純三氯氫矽的方法簡介
8.3 精餾的基本概念
8.4 雙組分溶液的氣液相平衡
8.5 精餾原理
8.6 精餾塔的物料衡算——操作綫方程
8.7 雙組分連續精餾過程的計算
8.8 精餾提純設備
8.9 精餾工藝
小結
習題
第9章 三氯氫矽氫還原製備高純矽
9.1 三氯氫矽氫還原的原理及影響因素
9.2 三氯氫矽氫還原的工藝
9.3 三氯氫矽氫還原操作要點及事故處理
9.4 三氯氫矽氫還原工藝質量要求
9.5 三氯氫矽氫還原工藝中的計算
9.6 還原生産中的熱能綜閤利用
小結
習題
第10章 還原尾氣乾法迴收工藝
10.1 重要作用和意義
10.2 乾法迴收的工藝過程
10.3 四氯化矽的氫化
小結
習題
第11章 矽芯的製備與腐蝕
11.1 矽芯的製備
11.2 矽芯腐蝕
小結
習題
第12章 矽烷法製備高純矽
12.1 矽烷的概述
12.2 原料的製取及處理
12.3 矽烷的發生
12.4 矽烷的提純
12.5 矽烷熱分解製備多晶矽
小結
習題
參考文獻
精彩書摘
第2章 純水的製備
2.4 離子交換法製備純水
2.4.1 新樹脂的選擇和預處理
(1)選擇樹脂型號及確定陰離子交換樹脂、陽離子交換樹脂的比例
離子交換樹脂的型號很多,並在不斷增加。製取高純水時一般采用強酸性陽離子交換樹脂和強堿性陰離子交換樹脂,並根據流程選擇樹脂型號。
陰離子交換樹脂、陽離子交換樹脂的比例決定於陰離子交換樹脂、陽離子交換樹脂的交換當量(約1:2)和原水中離子的種類與含量兩個方麵,不能由一個因素單獨確定。在一般水質條件下,陰離子交換樹脂、陽離子交換樹脂的比例為1:(1.8~2)。
(2)新樹脂的預處理
新樹脂分乾、濕兩種,使用前都應進行預處理:膨脹處理和變形處理。
①膨脹處理 膨脹處理的目的是防止新樹脂遇水後膨脹過快而碎裂,影響樹脂的機械強度,降低樹脂的使用壽命。
前言/序言
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