用於惡劣環境的碳化矽微機電係統 (英)張,王曉浩,唐飛,王文弢 epub pdf  mobi txt 電子書 下載

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英張,王曉浩,唐飛,王文弢 著

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發表於2024-11-16

商品介绍



店鋪: 典則俊雅圖書專營店
齣版社: 科學齣版社
ISBN:9787030268624
商品編碼:29793786099
包裝:平裝
齣版時間:2010-03-01

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書籍描述

  圖書基本信息,請以下列介紹為準
書名用於惡劣環境的碳化矽微機電係統
作者(英)張,王曉浩,唐飛,王文弢
定價35.00元
ISBN號9787030268624
齣版社科學齣版社
齣版日期203-01
版次1

  其他參考信息(以實物為準)
裝幀:平裝開本:16開重量:0.640
版次:1字數:頁碼:
  插圖

  目錄

  內容提要
碳化矽以其優異的溫度特性、電遷移特性、機械特性等,越來越被微電子和微機電係統研究領域所關注,不斷有新的研究群體介入這一材料及其應用的研究。《用於惡劣環境的碳化矽微機電係統》是目前譯者見到的一本係統論述碳化矽微機電係統的著作,作者是來自英、美從事碳化矽微機電係統研究的幾位學者,他們係統綜述瞭碳化矽生長、加工、接觸、腐蝕和應用等環節的技術和現狀,匯聚瞭作者大量的經驗和智慧。
  《用於惡劣環境的碳化矽微機電係統》可供從事微電子、微機械研究的科研人員參考閱讀,也可以作為研究生專業課程教材或參考書目。

  編輯推薦

  作者介紹

  序言

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