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英张,王晓浩,唐飞,王文弢 著

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发表于2022-06-28

商品介绍



店铺: 北京群洲文化专营店
出版社: 科学出版社
ISBN:9787030268624
商品编码:29328961614
包装:平装
出版时间:2010-03-01

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书籍描述

基本信息

书名:用于恶劣环境的碳化硅微机电系统

定价:35.00元

作者:(英)张,王晓浩,唐飞,王文弢

出版社:科学出版社

出版日期:2010-03-01

ISBN:9787030268624

字数:

页码:

版次:1

装帧:平装

开本:16开

商品重量:0.640kg

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内容提要


碳化硅以其优异的温度特性、电迁移特性、机械特性等,越来越被微电子和微机电系统研究领域所关注,不断有新的研究群体介入这一材料及其应用的研究。《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》是目前译者见到的一本系统论述碳化硅微机电系统的著作,作者是来自英国、美国从事碳化硅微机电系统研究的几位学者,他们系统综述了碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状,汇聚了作者大量的经验和智慧。
  《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》可供从事微电子、微机械研究的科研人员参考阅读,也可以作为研究生专业课程教材或参考书目。

目录


作者介绍


文摘


序言



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