薄膜技术与薄膜材料 epub pdf mobi txt 电子书下载 2024

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田民波，李正操著

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发表于2024-12-22

商品介绍

出版社：清华大学出版社

ISBN：9787302274834

版次：1

商品编码：11874803

品牌：清华大学

包装：平装

开本：16开

出版时间：2012-03-01

用纸：胶版纸

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书籍描述

内容简介

　　薄膜及微细加工技术的应用范围极为广泛，从大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、MEMS、传感器、白光LED固体照明、太阳能电池到材料的表面改性等，涉及高新技术产业的各个领域。本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用等4大部分，涉及薄膜技术与薄膜材料的各个方面，知识全面，脉络清晰。全书共17章，文字通俗易懂，并配有大量图解，每章后面附有习题，有利于对基本概念和基础知识的理解、掌握与运用。本书可作为材料、机械、精密仪器、化工、能源、微电子、计算机、物理、化学、光学等学科本科生及研究生教材，对于从事相关行业的科技工作者与工程技术人员，也具有极为难得的参考价值。