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林斌彦 著
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发表于2025-06-01
商品介绍
出版社: 东南大学出版社
ISBN:9787564140533
版次:1
商品编码:11489686
包装:平装
开本:16开
出版时间:2014-03-01
页数:966
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书籍描述
内容简介
微机电系统(MEMS)技术是一个快速发展的前沿技术领域, 使用的材料种类多、工艺方法复杂, 需要系统地归纳、分析与整理, 以便于读者查阅。本手册是大型专业工具书, 以查阅为主。本书内容包括MEMS材料, MEMS加工工艺和制造工艺, MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。
前言/序言
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读者评价
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质量不错,充实的内容
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给公司买的,送货很快,全新,正版
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不错的书。。。。。。。。。
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工具书还是第一次买,内容很充实,参考价值还是有一些的。
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好厚啊,啃呗
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书不错,本以为是全英文版的呢,拿到手发现是中文的,快递也很给力,一天就到了
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会哈会哈更会哈更会哈更
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真心不错,留着肯定有用。一门技巧啊
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