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林斌彦 著
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发表于2025-01-08
商品介绍
出版社: 东南大学出版社
ISBN:9787564140533
版次:1
商品编码:11489686
包装:平装
开本:16开
出版时间:2014-03-01
页数:966
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书籍描述
内容简介
微机电系统(MEMS)技术是一个快速发展的前沿技术领域, 使用的材料种类多、工艺方法复杂, 需要系统地归纳、分析与整理, 以便于读者查阅。本手册是大型专业工具书, 以查阅为主。本书内容包括MEMS材料, MEMS加工工艺和制造工艺, MEMS工艺集成方法以及工业届已经采用的工艺制造流程案例。
前言/序言
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读者评价
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书的内容很全面很详细,值得学习
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会哈会哈更会哈更会哈更
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很好,很专业
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实在是非常的实惠,非常的划算
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有用
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好书。。。。。。。。。
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很好的一本书,内容充实全面,值得专业技术人员参考
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包装完整,快递小哥送到家的,还没看
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东西不错
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