硅加工中的表征 epub pdf  mobi txt 电子书 下载

硅加工中的表征 epub pdf mobi txt 电子书 下载 2024

硅加工中的表征 epub pdf mobi txt 电子书 下载 2024


简体网页||繁体网页
[美] 布伦德尔,埃文斯,斯特劳瑟 编

下载链接在页面底部


点击这里下载
    


想要找书就要到 静思书屋
立刻按 ctrl+D收藏本页
你会得到大惊喜!!

发表于2024-11-23

商品介绍



出版社: 哈尔滨工业大学出版社
ISBN:9787560342801
版次:1
商品编码:11402700
包装:平装
丛书名: 材料表征原版系列丛书
开本:16开
出版时间:2014-01-01
用纸:胶版纸

硅加工中的表征 epub pdf mobi txt 电子书 下载 2024



类似图书 点击查看全场最低价

相关书籍





书籍描述

内容简介

  This volume is one of a series originally issued under anotherimprint. The other volumes in this series are as follows:Characterization of Catalytic Materialsisrael E. Wachs;Characterization of Metals and AlloysPaul H. Holloway and P. N Vaidyanathan;Characterization of CeramicsRona/d E. Loehman;Characterization of PolymersNed J. Chou, Stephen R Kowalczyk, Ravi Saraf, and Ho—Ming Tong;Characterization in Compound Semiconductor ProcessingGary McGuire and Yale Strausser;Characterization of Integrated Circuit Packaging MaterialsThomas M. Moore and Robert G. McKenna;Characterization of Composite MaterialsHatsuo Ishida;Characterization of Tribological MaterialsWilliam A. Glaeser;Characterization of Optical MaterialsGregory J. Exarhos;Characterization of Organic Thin FilmsAbraham Ulman.

目录

Preface to the Reissue of the Materials Characterization Series ix
Preface to Series x
Preface to the Reissue of Characterization in Silicon Processing xi
Preface xii
Contributors xiv
APPLICATION OF MATERIALS CHARACTERIZATION TECHNIQUES TO SILICON EPITAXIAL GROWTH
1.1 Introduction 1
1.2 Silicon Epitaxial Growth 2
Basic Chemical Reactions 2, Precleaning Considerations 3,
Reactor Types 3
1.3 Film and Process Characterization 4
Crystal Quality 4, PrecleanQuality 6, Thickness 9, Dopant
Concentration and Dopant Profiling 12
1.4 Selective Growth 14
Basic Process Considerations 14, Defect Density and Growth
Morphology 15, Predean Quality 18, Thickness 18
1.5 Si1 _xGex Epitaxial Growth 18
Material Considerations 18, Reactor Types 19
1.6 Si1_ xGex Material Characterization 20
Composition and Thickness 20, Growth Morphology 22, Lattice
Strain and Critical Thickness 23, Relaxation Kinetics 24, Bandgap
Measurements 24, Interracial Abruptness and Outdiffusion 25,
Impurity Profiles 25
1.7 Summary 26
POLYSILICON CONDUCTORS
SILICIDES
ALUMINUM— AND COPPER—BASED CONDUCTORS
TUNGSTEN—BASED CONDUCTORS
BARRIER FILMS
APPENDIX: TECHNIQUE SUMMARIES

前言/序言


硅加工中的表征 epub pdf mobi txt 电子书 下载 2024

硅加工中的表征 下载 epub mobi pdf txt 电子书 2024

硅加工中的表征 pdf 下载 mobi 下载 pub 下载 txt 电子书 下载 2024

硅加工中的表征 mobi pdf epub txt 电子书 下载 2024

硅加工中的表征 epub pdf mobi txt 电子书 下载
想要找书就要到 静思书屋
立刻按 ctrl+D收藏本页
你会得到大惊喜!!

读者评价

评分

评分

评分

评分

评分

评分

评分

评分

评分

硅加工中的表征 epub pdf mobi txt 电子书 下载 2024

类似图书 点击查看全场最低价

硅加工中的表征 epub pdf mobi txt 电子书 下载 2024


分享链接









相关书籍


本站所有内容均为互联网搜索引擎提供的公开搜索信息,本站不存储任何数据与内容,任何内容与数据均与本站无关,如有需要请联系相关搜索引擎包括但不限于百度google,bing,sogou

友情链接

© 2024 book.tinynews.org All Rights Reserved. 静思书屋 版权所有