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編輯推薦

《實用真空檢漏技術》主要為廣大真空檢漏技術人員提供服務，亦可作為真空檢漏培訓班教材使用，並為大專院校師生提供重要參考。

內容簡介

《實用真空檢漏技術》是作者在幾十年的真空檢漏技術工程經驗以及培訓教學基礎上,結閤近幾年齣現的新技術、新成果綜閤編寫成的。內容豐富、技術先進。
《實用真空檢漏技術》共分7章，其中包括：檢漏的一般概念、檢漏的真空基礎、常用的檢漏方法、標準漏孔及其校準等。重點介紹瞭氦質譜檢漏儀法和四極質譜計檢漏法，並給齣瞭應用實例。
《實用真空檢漏技術》主要為廣大真空檢漏技術人員提供服務，亦可作為真空檢漏培訓班教材使用，並為大專院校師生提供重要參考。

目錄

第1章 檢漏的一般概念
1.1 檢漏技術的地位和應用
1.2 檢漏技術的主要術語
1.3 壓力與漏率關係
1.3.1 動態真空
1.3.2 靜態真空
1.4 檢漏的任務
1.4.1 真空抽不好的原因
1.4.2 不能保持壓力的原因
1.4.3 檢漏的任務
1.5 漏孔及其錶示
1.5.1 焊縫及原材料的缺欠
1.5.2 常見漏孔的形式
1.5.3 漏孔齣現位置及産生原因
1.5.4 漏孔大小的錶示方法
1.5.5 影響漏孔漏率的因素
1.5.6 漏率的單位
1.5.7 漏孔對真空的影響
1.6 裝置漏氣的判定
1.6.1 真空裝置漏氣的判定
1.6.2 加壓裝置漏氣的判定
1.6.3 檢漏儀及其他方法
1.7 裝置容許最大漏率估算
1.7.1 動態真空裝置容許最大漏率
1.7.2 靜態真空裝置容許最大漏率
1.7.3 加壓裝置容許最大漏率
1.7.4 實際存在漏孔漏率分布
1.8 靈敏度與最小可檢漏率
1.8.1 靈敏度
1.8.2 最小可檢漏率
1.8.3 有效最小可檢漏率
1.9 對檢漏的一般要求
1.10 檢漏方法的分類
1.10.1 加壓檢漏法
1.10.2 抽真空檢漏法
1.10.3 其他方法
1.11 檢漏方法、儀器和示漏物質選擇原則
1.12 國産氦質譜檢漏儀現狀
第2章 檢漏的真空基礎
2.1 真空概念和測量單位
2.1.1 真空概念
2.1.2 真空度
2.1.3 真空區域劃分
2.2 理想氣體基本定律及狀態方程
2.2.1 理想氣體
2.2.2 波義耳定律
2.2.3 蓋•呂薩剋定律
2.2.4 查理定律
2.2.5 阿伏伽德羅定律
2.2.6 理想氣體狀態方程
2.2.7 道爾頓定律（分壓力定律）
2.3 氣體分子的平均自由程
2.3.1 平均自由程
2.3.2 單一氣體分子的平均自由程
2.4 氣體流量和管道流導
2.4.1 氣體量
2.4.2 流量
2.4.3 流導
2.4.4 管道串聯的流導
2.4.5 管道並聯的流導
2.5 氣體的流動狀態
2.5.1 真空管道中的氣體流動
2.5.2 漏孔中的氣體流動
2.6 真空泵
2.6.1 油封式鏇轉機械真空泵
2.6.2 油擴散泵
2.6.3 渦輪分子泵
2.7 真空計
2.7.1 靜態變形真空計
2.7.2 電阻真空計
2.7.3 熱偶真空計
2.7.4 熱陰極電離真空計
2.7.5 冷陰極磁控放電真空計（潘寜真空計）
2.7.6 分壓力真空計
第3章 常用的檢漏方法
3.1 靜態升壓法
3.2 靜態降壓法
3.3 氣泡檢漏法
3.3.1 氣泡檢漏法的原理
3.3.2 産生氣泡的條件
3.3.3 産生壓差的方法
3.3.4 打氣試漏法及注意事項
3.4 高頻火花檢漏法
3.4.1 火花法
3.4.2 放電法
3.5 鹵素檢漏法
3.5.1 鹵素檢漏法原理及儀器結構
3.5.2 鹵素檢漏法注意事項
3.6 質譜儀檢漏法
3.7 其他檢漏方法
3.7.1 真空規法
3.7.2 離子泵檢漏法
3.7.3 聲波檢漏法
3.7.4 氨檢漏法
3.7.5 放射性同位素法
3.7.6 著色滲透法
3.7.7 熒光滲透法
3.7.8 正壓漏率計算法
第4章 標準漏孔及其校準
4.1 真空標準漏孔
4.1.1 概述
4.1.2 真空標準漏孔的種類
4.1.3 真空標準漏孔的比較
4.2 正壓標準漏孔
4.3 標準漏孔的校準及使用注意事項
第5章 氦質譜檢漏儀法
5.1 氦質譜檢漏儀工作原理
5.2 儀器結構
5.2.1 質譜室
5.2.2 真空係統
5.2.3 電氣部分
5.2.4 普通型氦質譜檢漏儀（ZJS-23B）與逆擴散型氦質譜檢漏儀（ZQJ-230D）的比較
5.3 示漏氣體選擇
5.4 最小可檢漏率與校準
5.4.1 檢漏儀的最小可檢漏率
5.4.2 有效最小可檢漏率
5.4.3 檢漏儀的最小可檢漏率校準方法
5.4.4 有效最小可檢漏率的校準方法
5.4.5 注意事項
5.5 反應時間與清除時間及其校準
5.6 氦質譜檢漏儀的選擇
5.7 氦質譜檢漏技術
5.7.1 氦質譜檢漏方法
5.7.2 實際漏孔漏率
5.7.3 大容器檢漏
第6章 四極質譜計檢漏法
6.1 四極質譜計的結構
6.2 四極質譜計的工作原理
6.3 四極質譜計的工作模式
6.3.1 模擬峰質量掃描
6.3.2 棒峰質量掃描
6.4 四極質譜計的性能指標
6.4.1 質量範圍
6.4.2 分辨本領R
6.4.3 靈敏度S
6.4.4 最小可檢分壓力pmin
6.4.5 最高工作壓力pmax
6.4.6 最小可檢濃度
6.5 四極質譜計檢漏方法
6.5.1 殘氣分析法
6.5.2 單一示漏氣體檢漏法
6.5.3 多種示漏氣體檢漏法
6.6 應用舉例
6.7 質譜圖的識彆
第7章 檢漏實踐和檢漏安全
7.1 檢漏實踐
7.1.1 檢漏實踐的原則——在真空工作的各個階段都要考慮檢漏工作
7.1.2 檢漏工作人員與檢漏試驗室（車間）
7.1.3 如何進行檢漏
7.2 檢漏安全
7.2.1 安全事項
7.2.2 安全防護
7.2.3 壓力防護
7.2.4 安全裝置
7.2.5 示漏氣體的危害與安全性
7.2.6 監測設備的類型
7.2.7 安全規則
參考文獻
編後語

前言/序言

真空技術的快速發展和應用，對真空檢漏技術提齣瞭越來越高的要求。我國在檢漏儀器研究和生産方麵，在國際上處於先進行列；但在應用水平上顯得有些不足，有待進一步提高。由於過去對檢漏術語的定義(例如對檢漏儀靈敏度、最小可檢漏率)理解不同，因而造成瞭不少矛盾甚至錯誤。本書用國傢標準統一瞭有關術語定義，這將是廣大真空檢漏人員所期盼的。相信對未來檢漏技術的發展將起到推動作用。
本書共7章，內容豐富，提供的數據、圖錶精確、可靠。本書係統介紹瞭有關檢漏的基本概念和基礎理論，重點介紹瞭常用的檢漏方法、氦質譜檢漏法、四極質譜計檢漏法等，並列舉瞭一些應用實例。同時,為瞭更準確地反映實際情況，對工況下的檢漏進行瞭研究和描述，其中包括真空條件下的檢漏，也包括正壓檢漏。
筆者專門從事真空檢漏技術研究和應用47年。根據多年的知識積纍，綜閤現代新興真空檢漏技術成果編寫齣《實用真空檢漏技術》，其目的就是給從事真空檢漏技術第一綫的技術人員提供技術幫助，該書可作為真空檢漏人員培訓教材使用，亦可供科研人員、大專院校師生參考。相信對真空裝置設計、生産將起到促進作用。
本書在編寫過程中，曾得到過崔遂先、談治信等真空專傢的指導和幫助，也得到瞭範垂禎、肖祥正、陳光奇、畢龍生等真空專傢的大力支持，在此一並錶示感謝。
由於筆者水平有限，不足之處在所難免，敬請讀者提齣寶貴意見、批評指正。筆者謹錶深深謝意。
編著者 曹慎誠
2010年11月

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