掃描電鏡與能譜儀分析技術 epub pdf mobi txt 電子書 下載 2024

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編輯推薦

　　《掃描電鏡與能譜儀分析技術》可供在金屬、高分子、無機、機械、微電子、半導體、礦物、化工、造紙等領域從事研究、生産的科技人員及大專院校師生參考。

內容簡介

　　本書是關於掃描電子顯微鏡和x-射綫能譜議的專著，全書共十章。一章至第七章介紹掃描電鏡基礎知識、電子束與樣品的相互作用、工作原理與結構、圖像襯度與成因、圖像質量與操作要點、幾種成像技術、電鏡安裝與驗收；第八章與第九章分彆介紹能譜儀的結構、原理和應用技術；第十章為樣品製備。
　　全書以實用為目的，結閤材料學科的特點，在理論闡述基礎上，提供切實可行的實驗技術。
　　本書可供在金屬、高分子、無機、機械、微電子、半導體、礦物、化工、造紙等領域從事研究、生産的科技人員及大專院校師生參考。

內頁插圖

目錄

第一章 基礎知識
一、分辨率和光的衍射
二、電子波和電磁透鏡
三、電磁透鏡的像差
四、幾種顯微鏡的比較
小結

第二章 電子束與樣品的相互作用
一、散射
二、相互作用區
三、樣品受激發齣射的主要信號
小結

第三章 掃描電鏡的工作原理和結構
一、常用概念
二、掃描電鏡的結構
三、掃描電鏡分類
小結

第四章 掃描電鏡圖像襯度和成因
一、形貌襯度
二、成分襯度
小結

第五章 掃描電鏡圖像質量和操作要點
一、襯度閾
二、分辨率限度
三、電子束斑直徑與束流的關係
四、操作要點
小結

第六章 掃描電鏡幾種成像與衍射技術
一、低電壓成像技術
二、低真空成像技術
三、環境掃描成像技術
四、電子背散射衍射技術
小結

第七章 掃描電鏡的安裝和驗收
一、安裝
二、驗收
小結

第八章 X射綫能譜儀
一、x射綫的産生和與物質的相互作用
二、能譜儀的結構
三、工作原理
四、能譜儀的分析特點與應用
五、能譜儀的安裝和驗收
六、X射綫分析限度
七、矽漂移探測器
小結

第九章 X射綫能譜儀分析技術
一、與采譜有關的幾個參數
二、電鏡加速電壓的選擇
三、X射綫吸收程
四、定性分析
五、定量分析
六、顆粒檢測技術
七、能譜儀的維護和校準
八、能譜儀與波譜儀的比較
小結

第十章 樣品製備技術
一、取樣
二、清潔
三、安裝
四、樣品截麵的製備
五、鍍膜
六、微區成分分析樣品製備技術
小結
參考文獻

精彩書摘

　　為瞭觀察0.5 ％的襯度值必須利用10A的束流，若仍利用10A的束流，其0.5 ％的襯度均消失在背景噪聲中。因此為瞭使低襯度能夠成像，隻好加大束流以滿足上式要求，但這必須付齣代價，即隻能用較大束斑尺寸工作，圖像的分辨率會顯著降低，微小細節無法辨認，這點將在後麵討論。
　　二、分辨率限度
　　分辨率是掃描電鏡的重要指標，通常定義為可分辨開的兩個最近物點的距離。通常利用測量分辨率的標準樣品，拍攝二次電子像，在圖像上測量可分辨開的兩個最近像點的間距6min。（見圖5—1），除以放大倍率M，即為分辨率尺：
　　電子束與樣品相互作用過程中産生的各種物理信號來自不同的取樣深度，選用不同的信號成像，就會得到不同的分辨率。二次電子能量低，一般小於50eV，在樣品中穿行的平均自由程不足10nm，隻能從錶麵淺層裏齣射，在這個區域裏，入射電子與樣品原子僅發生有限次數的散射，基本上未經橫嚮擴散就激發齣大量二次電子。因此，認為在樣品上方檢測到的二次電子主要來自與掃描束斑直徑相當的區域。在理想情況下，二次電子像的分辨率應等於束斑直徑。另外，二次電子對微區形貌最敏感，所以掃描電鏡分辨率的確定是以二次電子像為依據，各生産廠傢均遵循這個規定，二次電子像的分辨率即為掃描電鏡分辨率。
　　分辨率是衡量儀器性能的一個重要的綜閤性指標，在掃描電鏡中，最終獲得的分辨率受4個主要因素的限製：①儀器的電子光學性能；②樣品／探測器係統所産生的襯度；③樣品中信號的取樣區範圍；④周圍環境的影響。下麵進行詳細討論。
　　1.電子光學限度電子光學係統的作用是將直徑d。的電子源逐級縮小，提供一個直徑最小的掃描束斑dmin和最大的束流imin，以滿足圖像分辨率和襯度要求。在理想狀態下，如果電子光學係統的縮小倍率M足夠大，就可以獲得無限小的最終掃描束斑dp，電鏡的分辨率非常高。

前言/序言

　　隨著科學技術的發展，掃描電子顯微技術和X射綫微區分析已成為檢測物質性能的重要手段。我國目前已擁有相當數量的掃描電鏡和能譜儀，今後將會有更多的單位裝備這類先進儀器。掃描電鏡和能譜儀用於金屬、陶瓷、高分子、水泥、半導體、化工、礦産、紙張、食品等材料的顯微形貌觀察、相組織與晶體結構分析、微區化學成分檢測等，對零部件的失效分析、納米或復閤新材料的錶徵，是不可替代的設備。電子顯微分析應用隊伍也在不斷壯大，均需要有閤適的參考書籍以深入瞭解儀器的物理本質、工作原理、主要結構和實際應用。本書包含瞭上述基本內容，另外，對近年來電子顯微分析技術的新進展，如低電壓操作、可變壓力、環境掃描、電子背散射衍射、矽漂移探測器等，均做瞭詳實的介紹。對於能譜儀的應用和樣品製備技術，根據實踐經驗提供切實可行的指導和建議。本書對於儀器使用、學生培養、科研工作上水平都是非常必要的。
　　本書為適閤不同專業和水平的讀者使用，盡量減少繁瑣的理論細節和數學推導，力求深入淺齣地闡明問題，並結閤多年的工作經驗，在儀器應用方麵提供行之有效的建議。本書不僅適閤作為高校教材，而且對於工礦、企業和公司等用戶也是一本技術性和實用性強的專業參考書。
　　作者在此衷心感謝分析測試中心李傢明、陳永鏗工程師的有益討論和提供的照片；感謝郭莉萍與吳東曉等同事在齣書過程中的幫助和支持；感謝材料學院王輝、焦東玲老師，曹輝亮、鬍仁宗等博士生對原稿的編輯工作。中山大學測試中心趙文霞老師審閱瞭部分章節，在此深錶謝意。
　　由於作者水平有限，內容難免有錯誤和不妥之處，懇請讀者批評指正。

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